四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備，該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國A.S.T.M標準而設計的，專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
四探針測試儀的測試注意事項：
探頭由四根探針阻成，要求四根探針頭部的距離相等。四根探針由四根引聯接到方阻測試儀上，當探頭壓在導電薄膜材料上面時，方阻計就能立即顯示出材料的方阻值，具體原理是外端的兩根探針產生電流場，內端上兩根探針測試電流場在這兩個探點上形成的電勢。因為方阻越大，產生的電勢也越大，因此就可以測出材料的方阻值。需要提出的是雖然都是四端測試，但原理上與圖二所示用銅棒測方阻的方法不同。
因電流場中僅少部分電流在：(倍以上。)要求探針頭之間的距離相等，否則就要產生等比例測試誤差。)理論上講探針頭與導電薄膜接觸的點越小越好。但實際應用時，因針狀電極容易破壞被測試的導電薄膜材料，所以一般采用圓形探針頭。
如果材料是蒸發鋁膜等，蒸發的厚度又太薄的話，形成的鋁膜不能均勻的連成一片，而是形成點狀分布，此時方塊電阻值會大大增加，與通過稱重法計算的厚度和方阻值不一樣，因此，此時就要考慮到加入修正系數。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并實時采集兩次組合模式下的測試數據，把采集到的數據在計算機中加以分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到Excel中，讓用戶對數據進行各種數據分析
